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聚焦光系统的X衍射仪对薄膜样品的掠入射衍射研究
作者:汤云晖 王波
关键词: 薄膜; X衍射仪; 掠入射; 聚焦光系统;
摘要：采用常规的聚焦光源衍射仪—岛津XRD-7000型,设定θ轴为固定轴、2θ轴为转动轴进行掠入射测量。实验发现,采用常规衍射仪进行掠入射X衍射,操作方便、衍射强度高于平行光源的专用掠入射衍射仪;除了表层物相的粒度外,同样可以得到物相、晶胞参数等精确信息。其独特之处在于可以区分表层和非表层的物相,尤其是对挨得很近、难以分开的两个物相。该方法适于掠入射角<2°的超表面物相分析。