基于氧化石墨烯的ST-cut声表面波高性能湿度传感器

作者:蒋媛媛王金龙龙宫頔郭袁俊

关键词: 湿度传感器; 声表面波; 氧化石墨烯; ST-cut石英基底;

摘要：开发了氧化石墨烯（GO）涂覆的ST-cut石英声表面波（SAW）湿度传感器。SEM和FTIR研究发现GO表面呈现起伏褶皱状且含有亲水性基团,这有利于薄膜对水分子的吸附;还发现SAW湿度传感器的频移响应由质量负载效应提供,且高湿度下传感器频移的指数增加归因于水凝结引起的阻尼效应。该传感器具有良好的灵敏度、几乎为零的温度系数、稳定的短期重复性与长期稳定性,且成本低,为湿度传感的研究提供了较好的选择。

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基于氧化石墨烯的ST-cut声表面波高性能湿度传感器

作者:蒋媛媛 王金龙 龙宫頔 郭袁俊

关键词: 湿度传感器; 声表面波; 氧化石墨烯; ST-cut石英基底;

作者:蒋媛媛王金龙龙宫頔郭袁俊